D 探针台晶圆承片台及其旋转顶升系统_SOLIDWORKS 2016_模型图纸下载

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D 探针台晶圆承片台及其旋转顶升系统（ID:604012）

机械设备 / 非标机械 / D 探针台晶圆承片台及其旋转顶升系统

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平面图

3D视图

文件列表

屿双网

屿双网

#	文件名称	文件大小
1	00前面.png	61.8 KB
2	0上面.png	48.8 KB
3	0下面.png	37 KB
4	0后面.png	55.8 KB
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6	18.25.28 500mm.SLDPRT	109 KB
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10	BOX-STWN10.SLDPRT	67.6 KB
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12	CFFAN3-6.SLDPRT	98.1 KB
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14	EGH15CA滑块.SLDPRT	232 KB
15	EGH20SA导轨.SLDPRT	274 KB
16	EGH20SA滑块.SLDPRT	285 KB
17	FL684ZZ.SLDPRT	147 KB
18	FL686ZZ.SLDPRT	147 KB
19	GG1002丝杠.SLDPRT	117 KB
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21	GG1505丝杠X轴.SLDPRT	102 KB
22	GG1505丝杠Y轴.SLDPRT	102 KB
23	GG1505螺母.SLDPRT	139 KB
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26	LMU4.SLDPRT	91.6 KB
27	MSMD022G1U 200W Panasonic.SLDPRT	209 KB
28	MSMD042G1U 400W Panasonic.SLDPRT	228 KB
29	PACK-WVWS-V3-D8.SLDPRT	114 KB
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32	RA11008 UU CC0.SLDPRT	197 KB
33	SCPS21-6-8.SLDPRT	312 KB
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35	SCPW34-10-14.SLDPRT	327 KB
36	SV3050-7Z-P.SLDPRT	112 KB
37	UR6-40.SLDPRT	912 KB
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39	VKF332V-5G-M5.SLDPRT	160 KB
40	VV3KF3-20-02.SLDPRT	70.3 KB
41	XY table 固定件.SLDPRT	106 KB
42	XY板.SLDPRT	870 KB
43	X向防尘罩.SLDPRT	117 KB
44	X板.SLDPRT	365 KB
45	X轴拖链安装支架1.SLDPRT	114 KB
46	X轴拖链支架2.SLDPRT	104 KB
47	X轴旗杆.SLDPRT	88.3 KB
48	X防尘罩侧安装板1.SLDPRT	149 KB
49	X防尘罩侧安装板2.SLDPRT	174 KB
50	X防尘罩安装板1.SLDPRT	123 KB
51	X防尘罩安装板2.SLDPRT	107 KB
52	X限位块1.SLDPRT	72.5 KB
53	X限位块2.SLDPRT	71.9 KB
54	Y向防尘罩1.SLDPRT	115 KB
55	Y向防尘罩2.SLDPRT	110 KB
56	Y缓冲块1.SLDPRT	67.2 KB
57	Y缓冲块2.SLDPRT	71.2 KB
58	Y轴底座.SLDPRT	439 KB
59	Y轴拖链安装支架.SLDPRT	87.8 KB
60	Y轴旗杆.SLDPRT	89 KB
61	Y轴轴承压盖.SLDPRT	122 KB
62	Y轴轴承调整环.SLDPRT	109 KB
63	Y防尘罩安装板1.SLDPRT	111 KB
64	Y防尘罩安装板2.SLDPRT	93 KB
65	ZFC100-04B.SLDPRT	114 KB
66	ZSE30-C4L-25-A-Q.SLDPRT	143 KB
67	Z轴感应片.SLDPRT	71.8 KB
68	Z轴承座.SLDPRT	207 KB
69	Z轴组件.SLDASM	3.09 MB
70	Z轴轴承压盖.SLDPRT	134 KB
71	Z轴轴承调整环.SLDPRT	113 KB
72	Z轴连接座.SLDPRT	210 KB
73	Z轴锁紧螺母.SLDPRT	140 KB
74	上基板支撑块.SLDPRT	253 KB
75	上旋转轴.SLDPRT	122 KB
76	东方马达CMK244MAP.SLDPRT	102 KB
77	东方马达CRK564MAPB.SLDPRT	138 KB
78	丝杆固定法兰.SLDPRT	103 KB
79	丝杆螺母固定板.SLDPRT	126 KB
80	丝杆限位档板.SLDPRT	70.8 KB
81	丝杠直线角度转换机构-000T.SLDASM	1.07 MB
82	传感器PM-L24.SLDPRT	78.8 KB
83	内圈压盖.SLDPRT	136 KB
84	前旋转下座.SLDPRT	122 KB
85	前旋转座.SLDPRT	90.9 KB
86	升降导轨安装板右.SLDPRT	160 KB
87	升降导轨安装板左.SLDPRT	149 KB
88	升降底座.SLDPRT	236 KB
89	后旋转下座.SLDPRT	124 KB
90	后旋转座.SLDPRT	129 KB
91	后旋转座垫片.SLDPRT	59.9 KB
92	外圈压盖.SLDPRT	144 KB
93	大理石底板.SLDPRT	85.2 KB
94	导向轴固定板.SLDPRT	123 KB
95	感应器保护罩.SLDPRT	76 KB
96	承片台.SLDPRT	457 KB
97	承片台安装板.SLDPRT	118 KB
98	承片台旋转顶升系统-000T.SLDASM	3.68 MB
99	摆杆.SLDPRT	153 KB
100	摆杆垫片.SLDPRT	57 KB
101	支点1固定轴.SLDPRT	89.8 KB
102	支点2固定轴.SLDPRT	75 KB
103	支点3固定轴.SLDPRT	78 KB
104	支点3垫片.SLDPRT	55.6 KB
105	旋转丝杆螺母.SLDPRT	104 KB
106	旋转座.SLDPRT	466 KB
107	旋转旗杆.SLDPRT	89.7 KB
108	旋转旗杆2.SLDPRT	89.9 KB
109	旋转组件.SLDASM	1.27 MB
110	旋转轴.SLDPRT	92.3 KB
111	旋转轴锁紧螺帽.SLDPRT	105 KB
112	旋转轴防尘罩.SLDPRT	147 KB
113	旋转顶升系统-000T.SLDASM	2.92 MB
114	旋转马达座.SLDPRT	216 KB
115	晶圆承片台XY系统-000T.SLDASM	2.14 MB
116	晶圆承片台及其旋转顶升系统-000T.SLDASM	4.94 MB
117	直线轴承垫片.SLDPRT	164 KB
118	联轴器MCGLC13_5_5.sldprt	275 KB
119	花键对接法兰.SLDPRT	324 KB
120	螺母座.SLDPRT	160 KB
121	锁紧螺母.SLDPRT	135 KB
122	阀组件.SLDASM	205 KB
123	顶针.SLDPRT	32.3 KB
124	顶针安装座.SLDPRT	302 KB
125	顶针导向轴.SLDPRT	64.7 KB
126	顶针旋转座.SLDPRT	342 KB
127	风扇.SLDPRT	196 KB
128	风扇支架.SLDPRT	230 KB